アークプラズマ蒸着装置：APD (アドバンス理工)

アルゴン雰囲気のグローブボックス背面に連結されており表からは見えませんが、放電で生成する金属原子のビームをターゲット（基板や担体）に照射することで担持原子、クラスター、ナノ粒子、薄膜を作製することができます。